AMPERTEC® RD WOLFRAM(VI)-OXIDTETRACHLORIDE (WOCl4)
High purity and material expertise
Ein Beispiel für die aktive Entwicklung von Syntheseverfahren zur Herstellung von Metallchloriden ist unser neues AMPERTEC® Wolfram(VI)-oxidtetrachlorid. Damit erweitert Taniobis das Portfolio um eine hochreaktive Wolframform, die in mehreren Beschichtungsprozessen verwendet wird.
Der hohe Dampfdruck des Wolfram(VI)-oxidtetrachlorid macht es zu einem perfekten Kandidaten für die Abscheidung von WO3– oder W-Metallschichten durch CVD/ALD und bietet den Vorteil einer reduzierten Anzahl reaktiver Cl-Gruppen während der Abscheidungsprozesse im Vergleich zum WCl6.
Darüber hinaus können viele hochreine Alkoxide oder andere Verbindungen aus AMPERTEC® Wolfram(VI)-oxidtetrachlorid synthetisiert werden, die für Sol-Gel-Prozesse oder katalytische Anwendungen geeignet sind.