AMPERTEC® 塩化物
業界最高水準の純度と品質
AMPERTEC®は粒径が大きいため、超微粉が少なく、流動性に優れているという特徴をもちます。また加水分解しにくいため、経時変化しにくく、保管性にも優れています。
AMPERTEC®は市販の塩化物の5N（99.999%）の製品を有します。純度が高い為、様々な先端電子デバイス用途に使用されています。
例えば、先端LSIやメモリーチップ等の製造におけるALD/CVD工程において5N（99.999%）のAMPERTEC®TaCl5及びNbCl5が高純度プリカーサーとして使用されています。
当社は、幅広い製品ラインアップに加え、お客様のニーズに合わせた製品の改良および提案により、包括的な技術サポートを行っています。
| AMPERTEC® (半導体とハイエストピュアリティグレード)の主な用途は、半導体向け超高純度ALD/CVDプリカーサー原料として使われています。これらの特殊なALD/CVDプリカーサーは、マイクロプロセッサーやメモリーチップの製造に使用されています。また、当社では、触媒や化学合成などの工業用途向けの塩化物グレードも製造しています。
幅広い製品ラインアップに加え、お客様のニーズに合わせた製品の改良および提案により、包括的な技術サポートを行っています。 事業継続計画（BCP）については、複数拠点を持つことにより当社製品の安定的な供給を継続してまいります。 |