AMPERTEC®五塩化タングステン(WCl5) (開発中)

AMPERTEC®五塩化タングステンは新規開発品です。この開発品は、コーティングプロセスや触媒の用途への応用が期待されます。

六塩化タングステンに比べて高い蒸気圧は、ALD/CVDプロセスでタングステンを成膜に適しています。また、五塩化タングステンを原料にしたタングステン化合物も、ALD/CVDプリカーサーとして使用されています。