AMPERTEC®四塩化酸化タングステンWOCl4 (開発中)

高純度で様々な用途に活用可能

当社の新しいAMPERTEC®RD四塩化酸化タングステンは、様々なコーティングプロセスに応用可能な高反応性のタングステン化合物です。

四塩化酸化タングステンの高い蒸気圧は、ALD/CVDによる三酸化タングステンまたはタングステン金属層の成膜に最適であり、六塩化タングステンと比較して成膜プロセス中の反応性塩基の数が少ないという特徴があります。

さらに、AMPERTEC®四塩化酸化タングステンを用いて、ゾル-ゲルプロセスや触媒用途に適した多くの高純度アルコキシドやその他の化合物を合成することができます。