AMPERTEC®®六塩化タングステン (WCl6)

高純度で様々な用途に活用可能

当社のAMPERTEC®六塩化タングステンは、触媒プロセスや半導体プロセスの成膜に使用される反応性の高いタングステンです。触媒製造に求められる特性として、当社の六塩化タングステン粉末は流動性に優れるという特徴があります。

六塩化タングステンは、高性能ゴム、タイヤ、リサイクルゴム、および路面用の高品質天然ゴム添加物等の製造プロセスである開環メタセシス重合（ROMP）に使用されています。

半導体分野では、金属膜向けのALD/CVD有機金属プリカ―サー用原料またはALEとして使用されています。